クリーンルームの作業を自動化したい

クリーンルームでは常に室内の空気の清浄度を保つために徹底した対策が必要です。ここでは、ルーム内で行う作業の課題や、作業を自動化するメリット、そして実際の事例を紹介します。

クリーンルームの作業の課題

クリーンルームで行われる作業にはさまざまな課題があり、常に衛生的な環境を維持しなければならないことも挙げられます。
クリーンルームでは空気中に漂っている微粒子や細菌といったものを厳密に管理しなければなりません。そのための対策や、換気・システムの維持などにはコストもかかります。

クリーンルーム内に汚れや細菌などを持ち込まないためには、ルーム内への出入りにおいて常にクリーンスーツへの着替えが必要です。
トイレに行く際はどうしてもクリーンルームを出る必要があり、特に一日に何度も出入りする場合、大きな負担になります。

異物を持ち込まないためのルールが厳格に定められているため、担当者はストレスを感じてしまうこともあります。

クリーンルームの作業自動化のメリット

人の手で行わなければならない作業が減る

自動化することによりこれまで人の手で行っていた作業をロボットに任せられるようになります。どうしても人の手で行わなければならない作業もありますが、それ以外をロボットに任せることで人件費の節約にもつながるでしょう。

作業の品質が統一される

人の手で行う作業は、どうしても担当者によって品質にばらつきが出てしまいます。ロボットを導入すればそういったこともなく作業の品質が統一されるのもメリットです。

衛生管理がしやすくなる

自動化によって作業員の人数が減ると、それだけクリーンルーム内への人の出入りが少なくなります。これによって外から汚染リスクを持ち込むのを抑えられるメリットがあります。

3Dロボットビジョンシステムによる「クリーンルームの作業」自動化の事例

事例1：シリコンウエハの搬送と洗浄

クリーンタイプの垂直多関節ロボットを導入した事例です。シリコンウエハやカセットなどのサイズや形状ごとにプログラムを作成しておけば、品種やカセットの変更ごとに段取り替えやティーチングを行う必要がありません。
時間短縮につながりました。

参照元：FAロボット.com公式HP（https://www.keyence.co.jp/ss/products/vision/fa-robot/rv-example/clean-room.jsp）

事例2：一連の作業を1台で対応

LEDモジュールの1機種を製造する作業を自動化した事例です。
双腕型ロボットを導入して、作業の実行だけでなく、作業済みのキャリア（治具）を次工程の自動化装置に移すことや、完成品をキャリアラックに入れるまでの作業も自動化しました。1台で5役をこなします。

参照元：日経クロステック公式HP（https://xtech.nikkei.com/atcl/nxt/mag/nmc/18/00034/00003/）

まとめ

クリーンルームは非常に厳しい管理が必要になることもあり、担当者の負担が大きくなってしまうこともあります。自動化を実施することによって、作業員の負担軽減が期待できるでしょう。
また、人の出入りが少なくなればその分汚染リスクも抑えられるため、3Dロボットビジョンシステムなどを用いたロボットの導入による自動化は安全なクリーンルームを維持することにもつながるでしょう。

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